Structuur vaan de plasma-etsmasjien

ICP-apparatuur besteit veural oet veer deile: pre-vacuümkamer, ètskamer, gaasveurzieningssysteem en vacuümsysteem.

(1) Pre-vacuümkamer

De functie vaan de pre-vacuümkamer is um d’r veur te zörge dat de ètskamer op ‘n vasgestèld vacuümniveau weurt gehandhaaf, neet weurt beïnvlood door de externe umgeving (zoe wie sjtóf, waterdamp) en gevierleke gasse isoleert oet de zuvere kamer. ‘t Besteit oet ‘n deksel, ‘n manipulator, ‘n euverdrachsmechanisme, ‘n isolatiedeur, enz.

(2) Etskamer

De ètskamer is de kernstructuur vaan de ICP-ètsapparatuur. ‘t Heet ‘n directe invlood op de ètsingsnelheid, de verticaliteit vaan ‘t ètsing en de ruweheid. De belangriekste oonderdeile vaan de ètskamer zien: baoveste elektrode, ICP-radiofrequentie-eenheid, RF-radiofrequentie-einheid, lieger-elektrodesysteem, temperatuurregelingsysteem, enz.

(3) Gasvoorzieningssysteem

‘t Gaasvoorzieningssysteem mot versjillende ètsgasse nao de ètskamer levere en de gaasstroumsnelheid en de stroming door de drukregeling (PC) en de massastroumregeling (MFC) nauwkeurig controlere. ‘t Gaasvoorzieningssysteem besteit oet ‘n gaasbronfles, ‘n gaasleveringspijpleiding, ‘n controlesysteem, ‘n mengeenheid, enz.

(4) Vacuümsysteem
D’r zien twie vacuümsysteme, ein veur de pre-vacuümkamer en de aandere veur de ètskamer. De pre-vacuümkamer weurt door ‘n mechanische pomp geëvacueerd. Allein es ‘t vacuümniveau in de pre-vacuümkamer de ingestelde waerde bereik, kin de isolatiedeur weure geopend um de wafer euver te bringe. ‘t Vacuüm in de ètskamer weurt veurzien door ‘n mechanische pomp en ‘n moleculaire pomp. De gasse die door de reactie in de ètskamer were gegenereerd, were ouch door ‘t vacuümsysteem geëvacueerd.